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两种规格型号的等离子体光谱仪有哪些特点
等离子体发射光谱研究是了解放电条件下气体状态的有效手段和用于无干扰诊断等离子体状态参数的方法。它为研究不同实验参数下的等离子体行为提供了一种很好的方法。通过采集射频磁控溅射过程中等离子体发射光谱，可以计算出电子密度和电子温度，并且能够分析溅射功率、工作压强等实验参数对等离子体状态的影响。
AvaSpec Multi-channel系列等离子体光谱仪基于Avantes公司的AvaBench-75光学平台，采用模块化设计，可以配置成单通道、双通道、四通道或多通道（可达26个通道）。每个通道可以设置不同的积分时间或信号平均次数，且各通道同步采集。等离子体光谱仪有两种规格型号，AvaSpec-ULS2048-x-USB2和AvaSpec-ULS3648-x-USB2(x代表通道数)。
AvaSpec-ULS2048光谱仪在接受外触发信号之后仅延迟1.3微秒就开始采样。此外，该光谱仪也可以发出TTL信号来触发脉冲激光器或脉冲光源，并可设置开始采样的时间延迟（-20ns至89sec，步长21ns）。适用于需要快速响应或时序控制的应用（时间抖动±21ns）。AvaSpec-ULS3648光谱仪CCD像素数多，分辨率比AvaSpec-ULS2048光谱仪提高了约30%，但灵敏度降低了50%。
的AvaSpec-USB3.0平台为多通道的应用提供了块化。每个通道可以设置不同的积分时间或信号平均次数，而且可以各个通道同步地开始扫描。并可以通过*的Store to RAM功能实现多通道高速同步测量，采样频率可达900幅/秒。此外，每个通道都可以选用不同类型的探测器，覆盖很宽的波长范围，实现高分辨率的测量。